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公司公告

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发布时间：2024-11-24 03:10:35 | 作者：杏彩体育官网app点击量： 12

　　效果：供给一束亮度高、照明孔径角小、平行度高、束斑小、束流安稳的照明源。为满意明场和暗场成像需求，照明束可在20-30范围内歪斜。

　　电子枪是电镜的电子源。其效果是发射并加快电子，并集聚成交叉点。现在电子显微镜运用的电子源有两类：

　　场发射源在强电场效果下发生电子，场发射电镜FE

　　热阴极电子源电子枪的结构如图2-2所示，构成自偏压回路，栅极和阴极之间存在数百伏的电位差。电子束在栅极和阳极间集聚为尺度为d0的交叉点，一般为几十um。栅极的效果：约束和安稳电流。

　　从电子枪发射出的电子束，束斑尺度大，相干性差，平行度差，为此，需进一步集聚成近似平行的照明来，这个使命由聚光镜完成，一般有两级聚光镜来聚集。如图2-3。

　　为了调整束斑巨细还在C2聚光镜下装一个聚光镜光栏。一般经二级聚光后可获得N，um的电子束斑。

　　一起，为了减小像散，在C下还要装一个消像散器，以校对磁场成轴对称性的。 2

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